面積選択MOVPEによる結晶成長制御手法の確立とモノリシック光集積回路作製への応用

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面積選択MOVPEによる結晶成長制御手法の確立とモノリシック光集積回路作製への応用

研究代表者 霜垣幸浩

霜垣幸浩, 2003.3

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平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

Title Transcription

メンセキ センタク MOVPE ニ ヨル ケッショウ セイチョウ セイギョ シュホウ ノカクリツ ト モノリシック ヒカリ シュウセキ カイロ サクセイ エノ オウヨウ

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Note

平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

研究分担者: 中野義昭

課題番号: 11555002

Details

  • NCID
    BA74619050
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    eng
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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