面積選択MOVPEによる結晶成長制御手法の確立とモノリシック光集積回路作製への応用
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書誌事項
面積選択MOVPEによる結晶成長制御手法の確立とモノリシック光集積回路作製への応用
霜垣幸浩, 2003.3
- タイトル別名
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平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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メンセキ センタク MOVPE ニ ヨル ケッショウ セイチョウ セイギョ シュホウ ノカクリツ ト モノリシック ヒカリ シュウセキ カイロ サクセイ エノ オウヨウ
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注記
平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
研究分担者: 中野義昭
課題番号: 11555002