X線エリプソメーターの開発とその応用研究

著者

• 雨宮, 慶幸 アメミヤ, ヨシユキ
• 沖津, 康平 オキツ, コウヘイ
• 上エ地, 義徳 ウエジ, ヨシノリ

書誌事項

X線エリプソメーターの開発とその応用研究

研究代表者 雨宮慶幸

雨宮慶幸, 2002.3

タイトル別名

平成12年度〜平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

タイトル読み

Xセン エリプソメーター ノ カイハツ ト ソノ オウヨウ ケンキュウ

注記

平成12年度〜平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

研究分担者: 沖津康平, 上エ地義徳

研究課題番号: 12355005

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA74642686
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 72枚
• 大きさ: 30cm