ウォータージェットと集束イオンビームとを併用した広スケールレンジ微細立体構造創成

著者

書誌事項

ウォータージェットと集束イオンビームとを併用した広スケールレンジ微細立体構造創成

研究代表者 割澤伸一

割澤伸一, 2004.3

タイトル別名

平成13年度〜平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

タイトル読み

ウォータージェット ト シュウソク イオンビーム ト オ ヘイヨウ シタ コウスケール レンジ ビサイ リッタイ コウゾウ ソウセイ

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注記

平成13年度〜平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

研究分担者 : 光石衛

13305012

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA74687607
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    [東京]
  • ページ数/冊数
    1冊
  • 大きさ
    30cm
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