ウォータージェットと集束イオンビームとを併用した広スケールレンジ微細立体構造創成

著者

• 割澤, 伸一 ワリサワ, シンイチ
• 光石, 衛 ミツイシ, マモル

書誌事項

ウォータージェットと集束イオンビームとを併用した広スケールレンジ微細立体構造創成

研究代表者 割澤伸一

割澤伸一, 2004.3

タイトル別名

平成13年度〜平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

タイトル読み

ウォータージェット ト シュウソク イオンビーム ト オ ヘイヨウ シタ コウスケール レンジ ビサイ リッタイ コウゾウ ソウセイ

注記

平成13年度〜平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

研究分担者 : 光石衛

13305012

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA74687607
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm