ナノメートル分解能の三次元座標測定機の改良と精度評価手法の確立

著者

• 高増, 潔 タカマス, キヨシ
• 古谷, 涼秋

書誌事項

ナノメートル分解能の三次元座標測定機の改良と精度評価手法の確立

研究代表者 高増潔

高増潔, 2004.5

タイトル別名

平成13年度〜平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

ナノ メートル ブンカイノウ ノ サンジゲン ザヒョウ ソクテイキ ノ カイリョウ ト セイド ヒョウカ シュホウ ノ カクリツ

注記

平成13年度〜平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

研究分担者: 古谷涼秋

課題番号: 13555070

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA74736666
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: ix, 106p
• 大きさ: 30cm