ナノメートル分解能の三次元座標測定機の改良と精度評価手法の確立

書誌事項

ナノメートル分解能の三次元座標測定機の改良と精度評価手法の確立

研究代表者 高増潔

高増潔, 2004.5

タイトル別名

平成13年度〜平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

ナノ メートル ブンカイノウ ノ サンジゲン ザヒョウ ソクテイキ ノ カイリョウ ト セイド ヒョウカ シュホウ ノ カクリツ

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注記

平成13年度〜平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

研究分担者: 古谷涼秋

課題番号: 13555070

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA74736666
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    [東京]
  • ページ数/冊数
    ix, 106p
  • 大きさ
    30cm
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