リサイクルによる半導体級シリコンの製造

Author(s)

• 前田, 正史 マエダ, マサフミ
• 光田, 好孝 ミツダ, ヨシタカ
• 岡部, 徹
• 三宅, 正男

Bibliographic Information

リサイクルによる半導体級シリコンの製造

研究代表者 前田正史

前田正史, 2005.3

Other Title

平成15年度〜平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

Title Transcription

リサイクル ニ ヨル ハンドウタイキュウ シリコン ノ セイゾウ

Note

平成15年度〜平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

研究分担者: 光田好孝, 岡部徹, 三宅正男

課題番号: 15206101

• NCID: BA74792328
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: [東京]
• Pages/Volumes: 115枚
• Size: 30cm