高分子材料の微細加工による多機能集積マイクロシステム

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高分子材料の微細加工による多機能集積マイクロシステム

研究代表者 下山勲

下山勲, 2005.5

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平成13年度〜平成16年度日本学術振興会科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

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コウブンシ ザイリョウ ノ ビサイ カコウ ニ ヨル タキノウ シュウセキ マイクロ システム

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Note

平成13年度〜平成16年度日本学術振興会科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

研究分担者: 松本潔, 星野一憲

課題番号: 13305016

Details

  • NCID
    BA74792725
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    142枚
  • Size
    30cm
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