はじめてのナノインプリント技術
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はじめてのナノインプリント技術
（ビギナーズブックス, 38）
工業調査会, 2005.12
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ナノインプリント技術 : はじめての
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ハジメテ ノ ナノインプリント ギジュツ
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参考文献あり
Description and Table of Contents
Description
「ナノインプリント」の歴史はまだ１０年である。本書は、ナノインプリントの技術の発展や背景、あるいは企業動向をこの一冊でわかるようにまとめている。どの科学技術分野でも、その技術だけではなく周辺技術とその関係が非常に重要になるが、ナノインプリント技術の場合も、半導体製造技術と機械加工技術といった、両極端の幅の広い分野との絡みがあるため、しばしば混乱を生じることが多い。このようなところを交通整理して、必要最小限で理解が進むように気をつけながら解説されている。ナノインプリント技術の基礎を学ぶ絶好の書である。
Table of Contents
- 第１章 ナノインプリント技術とは
- 第２章 ナノインプリント技術のための要素技術
- 第３章 ナノインプリントリソグラフィ
- 第４章 ナノインプリント技術の位置付け
- 第５章 ナノインプリント技術の動向
- 第６章 ナノインプリント技術の将来展望
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