最新シリコンデバイスと結晶技術 : 先端LSIが要求するウェーハ技術の現状

著者

• 清水, 博文 シミズ, ヒロフミ

書誌事項

最新シリコンデバイスと結晶技術 : 先端LSIが要求するウェーハ技術の現状

清水博文 [ほか] 編

リアライズ理工センター, 2005.12

タイトル読み

サイシン シリコン デバイス ト ケッショウ ギジュツ : センタン LSI ウェーハ ギジュツ ノ ゲンジョウ

注記

その他の編者: 池田和子, 高田清司, 福田哲生

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA74962009
• ISBN:
  • 4898080677
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 13, 330, 8
• 大きさ: 30cm