Micro- and nanosystems - materials and devices : symposium held March 28-April 1, 2005, San Francisco, California, U.S.A.
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Micro- and nanosystems - materials and devices : symposium held March 28-April 1, 2005, San Francisco, California, U.S.A.
（Materials Research Society symposium proceedings, v. 872）
Materials Research Society, c2005
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注記
Includes bibliographical references and indexes