RF MEMSとその応用
大和田邦樹著
（K-labo series）
ケイラボ出版 , サイペック (発売), 2004.12
RF MEMS ト ソノ オウヨウ
九州工業大学 附属図書館図
548.1||O-10001054965
OPAC
京都大学 附属図書館 宇治分館生存研
06058740
北陸先端科学技術大学院大学 附属図書館研究科
M40.1|| O ||1052557
立命館大学 図書館
12000788014
監修: 小西良弘
ケイラボ出版 2003.11-