MEMS : introduction and fundamentals

著者

• Gad-el-Hak, Mohamed

書誌事項

MEMS : introduction and fundamentals

edited by Mohamed Gad-el-Hak

（Mechanical engineering series / series editor, Frank Kreith, . The MEMS handbook）

CRC, Taylor & Francis, 2006

• : hardcover

注記

The MEMS handbook, 2nd ed

"A CRC Press book"--Back cover

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA75369742
• ISBN:
  • 0849391377
• LCCN: 2005050111
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boca Raton, Fla.
• ページ数/冊数: 1 v. (various pagings)
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : TK7875
  • LCC : TK7874
  • DC22 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems
  • LCSH : Microelectronics
  • LCSH : Nanotechnology
• 親書誌ID:
  • BA55567812