窒化ガリウム薄膜の局所選択形成のための新しいプロセス
著者
書誌事項
窒化ガリウム薄膜の局所選択形成のための新しいプロセス
[柳沢淳一], 2005.4
- タイトル別名
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平成14-15年度科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書
- タイトル読み
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チッカ ガリウム ハクマク ノ キョクショ センタク ケイセイ ノ タメ ノ アタラシイ プロセス
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注記
課題番号: 14550300