超純水中での高速せん断流と電気化学作用を利用した超精密洗浄システムの開発
Author(s)
Bibliographic Information
超純水中での高速せん断流と電気化学作用を利用した超精密洗浄システムの開発
[後藤英和], 2004.4
- Other Title
-
平成14年度〜平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書
- Title Transcription
-
チョウジュンスイチュウ デノ コウソク センダンリュウ ト デンキ カガク サヨウ オ リヨウシタ チョウセイミツ センジョウ システム ノ カイハツ
Available at / 1 libraries
-
No Libraries matched.
- Remove all filters.
Search this Book/Journal
Note
課題番号: 14205025