高周波パルスSTM/STSによる絶縁体超精密加工表面のキャラクタリゼーション
著者
書誌事項
高周波パルスSTM/STSによる絶縁体超精密加工表面のキャラクタリゼーション
[遠藤勝義], 2004.4
- タイトル別名
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平成13年度〜平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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コウシュウハ パルス STM/STS ニ ヨル ゼツエンタイ チョウセイミツ カコウ ヒョウメン ノ キャラクタリゼーション
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注記
課題番号:13450056
参考文献あり