高性能アモルファスシリコンカーバイド(SiC)の超高速成膜に関する研究

Author(s)

    • 芳井, 熊安 ヨシイ, クマヤス

Bibliographic Information

高性能アモルファスシリコンカーバイド(SiC)の超高速成膜に関する研究

研究代表者 芳井熊安

[芳井熊安], 2004.5

Other Title

平成13年度〜平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

Title Transcription

コウセイノウ アモルファス シリコン カーバイド SiC ノ チョウコウソク セイマク ニ カンスル ケンキュウ

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Note

課題番号:13450058

参考文献: p19-21

Details

  • NCID
    BA75610481
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [吹田]
  • Pages/Volumes
    21p
  • Size
    30cm
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