高性能アモルファスシリコンカーバイド(SiC)の超高速成膜に関する研究
著者
書誌事項
高性能アモルファスシリコンカーバイド(SiC)の超高速成膜に関する研究
[芳井熊安], 2004.5
- タイトル別名
-
平成13年度〜平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
-
コウセイノウ アモルファス シリコン カーバイド SiC ノ チョウコウソク セイマク ニ カンスル ケンキュウ
大学図書館所蔵 件 / 全1件
-
該当する所蔵館はありません
- すべての絞り込み条件を解除する
この図書・雑誌をさがす
注記
課題番号:13450058
参考文献: p19-21