Super impose法を用いた製造プロセスを考慮した電子デバイスの信頼性評価

著者

• 座古, 勝 ザコ, マサル

書誌事項

Super impose法を用いた製造プロセスを考慮した電子デバイスの信頼性評価

研究代表者 座古勝

[座古勝], 2004.3

タイトル別名

平成14年度〜平成15年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書

タイトル読み

super imposeホウ オ モチイタ セイゾウ プロセス オ コウリョシタ デンシ デバイス ノ シンライセイ ヒョウカ

注記

課題番号: 14350057

参考文献: p103-106

• NII書誌ID(NCID): BA7563138X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [吹田]
• ページ数/冊数: 106p
• 大きさ: 30cm