電子線一括露光による強誘電体ナノキャパシタの作製

著者

• 岡村, 総一郎 オカムラ, ソウイチロウ

書誌事項

電子線一括露光による強誘電体ナノキャパシタの作製

研究代表者岡村総一郎

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成15-16年度）

[奈良先端科学技術大学院大学], 2005.5

タイトル読み

デンシセン イッカツ ロコウ ニヨル キョウユウデンタイ ナノ キャパシタ ノ サクセイ

注記

課題番号15560277

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA75695156
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [生駒]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30 cm
• 親書誌ID:
  • BA30195401