高アスペクト比・複雑形状超精密マイクロ部分の創成とその応用

著者

• 竹内, 芳美 タケウチ, ヨシミ

書誌事項

高アスペクト比・複雑形状超精密マイクロ部分の創成とその応用

研究代表者 竹内芳美

[竹内芳美], 2003.3

タイトル別名

平成13年度〜平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

コウアスペクトヒ フクザツ ケイジョウ チョウセイミツ マイクロ ブブン ノ ソウセイ ト ソノ オウヨウ

注記

課題番号: 13555033

参考文献: p41

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA75733583
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [吹田]
• ページ数/冊数: 41p
• 大きさ: 30cm