有機金属分子イオンビーム技術の高度化とSiCヘテロエピ成膜への応用
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書誌事項
有機金属分子イオンビーム技術の高度化とSiCヘテロエピ成膜への応用
[後藤誠一], 2003.3
- タイトル別名
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平成13〜14年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書
- タイトル読み
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ユウキ キンゾク ブンシ イオン ビーム ギジュツ ノ コウドカ ト SiC ヘテロエピ セイマク エノ オウヨウ
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注記
研究課題番号: 13558055