ITデバイス用レーザ精密微細加工システム

Author(s)

• 宮本, 勇 ミヤモト, イサム

Bibliographic Information

ITデバイス用レーザ精密微細加工システム

研究代表者 宮本勇

[宮本勇], 2003.3

Other Title

平成13年度, 平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

Title Transcription

IT デバイスヨウ レーザ セイミツ ビサイ カコウ システム

Note

課題番号: 13650280

Details

• NCID: BA75779358
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [吹田]
• Pages/Volumes: ii, 205p
• Size: 30cm