ITデバイス用レーザ精密微細加工システム

著者

• 宮本, 勇 ミヤモト, イサム

書誌事項

ITデバイス用レーザ精密微細加工システム

研究代表者 宮本勇

[宮本勇], 2003.3

タイトル別名

平成13年度, 平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

タイトル読み

IT デバイスヨウ レーザ セイミツ ビサイ カコウ システム

注記

課題番号: 13650280

• NII書誌ID(NCID): BA75779358
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [吹田]
• ページ数/冊数: ii, 205p
• 大きさ: 30cm