単色原子ビームの生成とナノリソグラフイーへの応用

著者

• 芳井, 熊安 ヨシイ, クマヤス

書誌事項

単色原子ビームの生成とナノリソグラフイーへの応用

研究代表者 芳井熊安

[芳井熊安], 2001.4

タイトル別名

平成10年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

タンショク ゲンシ ビーム ノ セイセイ ト ナノ リソグラフィー エノ オウヨウ

注記

課題番号: 10450059

参考文献: p59-61

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA75861459
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [吹田]
• ページ数/冊数: 61p
• 大きさ: 30cm