極低エネルギー電子による水素終端シリコン基板の表面修飾

書誌事項

極低エネルギー電子による水素終端シリコン基板の表面修飾

研究代表者 尾浦憲治郎

[尾浦憲治郎], 1999.3

タイトル別名

平成9年度〜平成10年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

ゴクテイエネルギー デンシ ニヨル スイソ シュウタン シリコン キバン ノ ヒョウメン シュウショク

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注記

課題番号: 09450017

詳細情報
  • NII書誌ID(NCID)
    BA75914475
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [吹田]
  • ページ数/冊数
    115p
  • 大きさ
    30cm
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