極低エネルギー電子による水素終端シリコン基板の表面修飾
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極低エネルギー電子による水素終端シリコン基板の表面修飾
[尾浦憲治郎], 1999.3
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平成9年度〜平成10年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
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ゴクテイエネルギー デンシ ニヨル スイソ シュウタン シリコン キバン ノ ヒョウメン シュウショク
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課題番号: 09450017