Micro process engineering : fundamentals, devices, fabrication, and applications

著者

• Kockmann, Norbert

書誌事項

Micro process engineering : fundamentals, devices, fabrication, and applications

volume editor Norbert Kockmann

（Advanced micro & nanosystems, Vol. 5）

WILEY-VCH, c2006

注記

Subject index: p.497-507

• NII書誌ID(NCID): BA75935409
• ISBN:
  • 3527312463
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Weinheim, Germany
• ページ数/冊数: xxii, 507 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • SG : 660
• 件名:
  • SWD : Chemische Verfahrenstechnik -- Mikrosystemtechnik
• 親書誌ID:
  • BA70371204