動的ぬれモデルに基づく微細電子材料におけるぬれ性評価

Author(s)

    • 安田, 清和 ヤスダ, キヨカズ

Bibliographic Information

動的ぬれモデルに基づく微細電子材料におけるぬれ性評価

研究代表者 安田清和

[安田清和], 2001.4

Other Title

平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

Title Transcription

ドウテキ ヌレ モデル ニ モトズク ビサイ デンシ ザイリョウ ニ オケル ヌレセイ ヒョウカ

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Note

研究課題番号: 11650744

参考文献あり

Details

  • NCID
    BA75978343
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [吹田]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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