気相雰囲気における半導体表面プロセスのイオンビームその場計測法の開拓

Author(s)

Bibliographic Information

気相雰囲気における半導体表面プロセスのイオンビームその場計測法の開拓

研究代表者 尾浦憲治郎

[尾浦憲治郎], 2002.3

Other Title

平成11年度〜平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

Title Transcription

キソウ フンイキ ニ オケル ハンドウタイ ヒョウメン プロセス ノ イオンビーム ソノ バ ケイソクホウ ノ カイタク

Available at  / 1 libraries

Search this Book/Journal

Note

課題番号: 11305006

Details

  • NCID
    BA76006223
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [吹田]
  • Pages/Volumes
    225p
  • Size
    30cm
Page Top