気相雰囲気における半導体表面プロセスのイオンビームその場計測法の開拓

著者

• 尾浦, 憲治郎 オウラ, ケンジロウ

書誌事項

気相雰囲気における半導体表面プロセスのイオンビームその場計測法の開拓

研究代表者 尾浦憲治郎

[尾浦憲治郎], 2002.3

タイトル別名

平成11年度〜平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

タイトル読み

キソウ フンイキ ニ オケル ハンドウタイ ヒョウメン プロセス ノ イオンビーム ソノ バ ケイソクホウ ノ カイタク

注記

課題番号: 11305006

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA76006223
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [吹田]
• ページ数/冊数: 225p
• 大きさ: 30cm