ワイドギャップ半導体薄膜の表層評価分光画像計測システムの試作

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ワイドギャップ半導体薄膜の表層評価分光画像計測システムの試作

研究代表者 中島信一

[中島信一], 1998.11

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平成8年度〜9年度科学研究費補助金基盤研究(A)(1)研究成果報告書

Title Transcription

ワイド ギャップ ハンドウタイ ハクマク ノ ヒョウソウ ヒョウカ ブンコウ ガゾウ ケイソク システム ノ シサク

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Note

研究課題番号: 08555005

Details

  • NCID
    BA76126021
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [吹田]
  • Pages/Volumes
    iv, 194p
  • Size
    30cm
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