ワイドギャップ半導体薄膜の表層評価分光画像計測システムの試作

著者

• 中島, 信一 ナカシマ, シンイチ

書誌事項

ワイドギャップ半導体薄膜の表層評価分光画像計測システムの試作

研究代表者 中島信一

[中島信一], 1998.11

タイトル別名

平成8年度〜9年度科学研究費補助金基盤研究(A)(1)研究成果報告書

タイトル読み

ワイド ギャップ ハンドウタイ ハクマク ノ ヒョウソウ ヒョウカ ブンコウ ガゾウ ケイソク システム ノ シサク

注記

研究課題番号: 08555005

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA76126021
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [吹田]
• ページ数/冊数: iv, 194p
• 大きさ: 30cm