半導体製造における安全対策・管理ハンドブック

著者

• 原田, 宙幸 ハラダ, ヒロユキ

書誌事項

半導体製造における安全対策・管理ハンドブック

原田宙幸〔ほか〕編

（Basic selection）

リアライズ・アドバンストテクノロジ, 1993.2

タイトル読み

ハンドウタイ セイゾウ ニ オケル アンゼン タイサク カンリ ハンドブック

• NII書誌ID(NCID): BA76252478
• ISBN:
  • 4898080502
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: [2],11,495p
• 大きさ: 30cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 半導体
  • NDLSH : 化学薬品 -- 安全管理
• 親書誌ID:
  • BA7433021X