マイクロマシン用Si微小構造の疲労特性評価

著者

• 辻, 裕一 ツジ, ヒロカズ

書誌事項

マイクロマシン用Si微小構造の疲労特性評価

研究代表者:辻裕一

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成11年度-平成12年度）

[東京電機大学], 2001.3

タイトル読み

マイクロマシンヨウ Si ビショウ コウゾウ ノ ヒロウ トクセイ ヒョウカ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA76308459
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: iv, 101p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195401