マイクロマシン用シリコン微小機構の疲労特性に関する研究

著者

• 辻, 裕一 ツジ, ユウイチ

書誌事項

マイクロマシン用シリコン微小機構の疲労特性に関する研究

研究代表者:辻裕一

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成9年度-平成10年度）

[東京電機大学], 1999.3

タイトル読み

マイクロ マシンヨウ シリコン ビショウ キコウ ノ ヒロウ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ

• NII書誌ID(NCID): BA7631885X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: iii, 52p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195401