マイクロマシン用シリコン微小機構の疲労特性に関する研究

Author(s)

• 辻, 裕一 ツジ, ユウイチ

Bibliographic Information

マイクロマシン用シリコン微小機構の疲労特性に関する研究

研究代表者:辻裕一

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成9年度-平成10年度）

[東京電機大学], 1999.3

Title Transcription

マイクロ マシンヨウ シリコン ビショウ キコウ ノ ヒロウ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ

Details

• NCID: BA7631885X
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: [東京]
• Pages/Volumes: iii, 52p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30195401