レーザラマン分光法によるシリコン単結晶の応力評価

著者

• 新津, 靖 ニイツ, ヤスシ

書誌事項

レーザラマン分光法によるシリコン単結晶の応力評価

研究代表者:新津靖

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成10年度-平成11年）

[東京電機大学], 2000.4

タイトル読み

レーザ ラマン ブンコウホウ ニ ヨル シリコン タンケッショウ ノ オウリョク ヒョウカ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA76321832
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 71p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195401