アブレッシブウォータジェットによるガラスのマイクロファブリケーション

著者

• 松村, 隆 マツムラ, タカシ

書誌事項

アブレッシブウォータジェットによるガラスのマイクロファブリケーション

研究代表者:松村隆

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成15年度-平成16年度）

[東京電機大学], 2005.3

タイトル読み

アブレッシブ ウォータ ジェット ニ ヨル ガラス ノ マイクロファブリケーション

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA76337413
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 38p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195401