MEMS reliability for critical and space applications : 21-22 September 1999, Santa Clara, California
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書誌事項
MEMS reliability for critical and space applications : 21-22 September 1999, Santa Clara, California
(Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering, v. 3880)
SPIE, c1999
- pbk.
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注記
Includes bibliographical references and index
内容説明・目次
内容説明
A selection of scientific papers on the reliability of microelectromechanical systems (MEMS) for critical and space applications.
「Nielsen BookData」 より