半導体・液晶ディスプレイフォトリソグラフィ技術ハンドブック

Author(s)

    • 石橋, 健夫 イシバシ, タケオ

Bibliographic Information

半導体・液晶ディスプレイフォトリソグラフィ技術ハンドブック

石橋健夫 [ほか] 編集委員

リアライズ理工センター, 2006.1

Other Title

半導体液晶ディスプレイ : フォトリソグラフィ技術ハンドブック

Title Transcription

ハンドウタイ エキショウ ディスプレイ フォトリソグラフィ ギジュツ ハンドブック

Available at  / 2 libraries

Note

編者ヨミは推定

その他の編集委員: 上野巧, 鵜飼育弘, 嘉代雄, 田中初幸

奥付の編集: 深水克郎, 西本昌弘

Details

  • NCID
    BA76694308
  • ISBN
    • 4898080693
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    22, 587, 11p
  • Size
    31cm
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