窒化アルミニウム薄膜の調整と特性研究

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書誌事項

窒化アルミニウム薄膜の調整と特性研究

（海外研究開発レポート, Data No.HTR-1953(68)）

[ハイテック・リサーチ], [19--]

タイトル読み

チッカ アルミニウム ハクマク ノ チョウセイ ト トクセイ ケンキュウ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA76694589
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: eng
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BN02309810