単分子膜リソグラフィによる分子組織体と半導体回路の融合化
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単分子膜リソグラフィによる分子組織体と半導体回路の融合化
[杉村博之], 2005.3
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平成14年度〜平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書 : 課題番号14205107
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タンブンシマク リソグラフィ ニヨル ブンシ ソシキタイ ト ハンドウタイ カイロ ノ ユウゴウカ
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京都大学大学院工学研究科