Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication

著者

• 真壁, 利明 マカベ, トシアキ
• Petrović, Z. (Zoran Lj)

書誌事項

Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication

by T. Makabe and Z. Petrović

（Series in plasma physics）

Taylor & Francis, 2006

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA76918777
• ISBN:
  • 9780750309769
• LCCN: 2005056888
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boca Raton, FL
• ページ数/冊数: 339 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TA2020
  • DC22 : 621.044
• 件名:
  • LCSH : Plasma engineering
• 親書誌ID:
  • BA76729741