Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication

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Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication

by T. Makabe and Z. Petrović

(Series in plasma physics)

Taylor & Francis, 2006

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詳細情報
  • NII書誌ID(NCID)
    BA76918777
  • ISBN
    • 9780750309769
  • LCCN
    2005056888
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Boca Raton, FL
  • ページ数/冊数
    339 p.
  • 大きさ
    24 cm
  • 分類
  • 件名
  • 親書誌ID
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