RF MEMS技術の最前線 : ワイヤレス時代のキーテクノロジー
著者
書誌事項
RF MEMS技術の最前線 : ワイヤレス時代のキーテクノロジー
(新材料シリーズ)
シーエムシー出版, 2006.4
- タイトル別名
-
Frontier of RF MEMS technology : key technology in wireless age
- タイトル読み
-
RF MEMS ギジュツ ノ サイゼンセン : ワイヤレス ジダイ ノ キー テクノロジー
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注記
執筆者: 大和田邦樹, 前田龍太郎, 小林健, 神野伊策, 三原孝士, 鈴木健一郎, 佐野浩二, 曽田真之介, 中谷忠司, 中西淑人, 佐藤良夫, 吉田幸久, 李相錫, 寒川潮, 楢橋祥一, 原晋介, チャントゥアンコク, 中谷勇太, 井田一郎, 大石泰之, 中村陽登
内容説明・目次
目次
- 1 総論(MEMS技術の概要;RF MEMS技術の概要)
- 2 プロセス技術(プロセス基盤技術;RF MEMSのプロセス技術 ほか)
- 3 設計技術(MEMS構造体の力学的設計技術;MEMS構造体のRF設計技術)
- 4 デバイス技術(単結晶シリコンメンブレン型スイッチ;線路駆動型スイッチとメタルカンチレバー型スイッチ ほか)
- 5 応用技術(60GHz帯送・受信フロントエンドモジュール;高効率デュアルバンド増幅器 ほか)
「BOOKデータベース」 より