RF MEMS技術の最前線 : ワイヤレス時代のキーテクノロジー
Author(s)
Bibliographic Information
RF MEMS技術の最前線 : ワイヤレス時代のキーテクノロジー
(新材料シリーズ)
シーエムシー出版, 2006.4
- Other Title
-
Frontier of RF MEMS technology : key technology in wireless age
- Title Transcription
-
RF MEMS ギジュツ ノ サイゼンセン : ワイヤレス ジダイ ノ キー テクノロジー
Available at / 16 libraries
-
No Libraries matched.
- Remove all filters.
Search this Book/Journal
Note
執筆者: 大和田邦樹, 前田龍太郎, 小林健, 神野伊策, 三原孝士, 鈴木健一郎, 佐野浩二, 曽田真之介, 中谷忠司, 中西淑人, 佐藤良夫, 吉田幸久, 李相錫, 寒川潮, 楢橋祥一, 原晋介, チャントゥアンコク, 中谷勇太, 井田一郎, 大石泰之, 中村陽登
Description and Table of Contents
Table of Contents
- 1 総論(MEMS技術の概要;RF MEMS技術の概要)
- 2 プロセス技術(プロセス基盤技術;RF MEMSのプロセス技術 ほか)
- 3 設計技術(MEMS構造体の力学的設計技術;MEMS構造体のRF設計技術)
- 4 デバイス技術(単結晶シリコンメンブレン型スイッチ;線路駆動型スイッチとメタルカンチレバー型スイッチ ほか)
- 5 応用技術(60GHz帯送・受信フロントエンドモジュール;高効率デュアルバンド増幅器 ほか)
by "BOOK database"