高周波プラズマ生成の高適応性超並列シミュレーション

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高周波プラズマ生成の高適応性超並列シミュレーション

福山淳研究代表

[福山淳], 2005.5

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平成14年度〜平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 : 課題番号14380210

Title Transcription

コウシュウハ プラズマ セイセイ ノ コウテキオウセイ チョウヘイレツ シミュレーション

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京都大学大学院工学研究科

Details

  • NCID
    BA76994844
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [京都]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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