気相からの炭素-炭化ケイ素系固体析出反応における成膜前駆体と成膜機構
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書誌事項
気相からの炭素-炭化ケイ素系固体析出反応における成膜前駆体と成膜機構
[河瀬元明], 2005.3
- タイトル別名
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平成15〜16年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書 : 課題番号15360421
- タイトル読み
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キソウ カラノ タンソ タンカ ケイソケイ コタイ セキシュツ ハンノウ ニオケル セイマク ゼンクタイ ト セイマク キコウ
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注記
京都大学工学研究科