超微細パターニング技術 : 次世代のナノ・マイクロパターニングプロセス

Author(s)

• 高原, 淳 タカハラ, アツシ

Bibliographic Information

超微細パターニング技術 : 次世代のナノ・マイクロパターニングプロセス

高原淳 [ほか] 著

サイエンス&テクノロジ-, 2006.2

Title Transcription

チョウビサイ パターニング ギジュツ : ジセダイ ノ ナノ・マイクロ パターニング プロセス

Note

参考文献: 各章末

Details

• NCID: BA77546430
• ISBN:
  • 4903413012
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 333p, 図版2枚
• Size: 31cm
• Classification:
  • NDC9 : 501.4
  • NDLC : M213
• Subject Headings:
  • NDLSH : 工業材料
  • NDLSH : 薄膜
  • NDLSH : ナノテクノロジー