超微細パターニング技術 : 次世代のナノ・マイクロパターニングプロセス

著者

• 高原, 淳 タカハラ, アツシ

書誌事項

超微細パターニング技術 : 次世代のナノ・マイクロパターニングプロセス

高原淳 [ほか] 著

サイエンス&テクノロジ-, 2006.2

タイトル読み

チョウビサイ パターニング ギジュツ : ジセダイ ノ ナノ・マイクロ パターニング プロセス

注記

参考文献: 各章末

• NII書誌ID(NCID): BA77546430
• ISBN:
  • 4903413012
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 333p, 図版2枚
• 大きさ: 31cm
• 分類:
  • NDC9 : 501.4
  • NDLC : M213
• 件名:
  • NDLSH : 工業材料
  • NDLSH : 薄膜
  • NDLSH : ナノテクノロジー