Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いた強力大変位マイクロアクチュエータの作製

Author(s)

• 宮崎, 修一 ミヤザキ, シュウイチ

Bibliographic Information

Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いた強力大変位マイクロアクチュエータの作製

宮崎修一研究代表

（科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書, 平成14年度-平成16年度）

[宮崎修一], 2006.3

Title Transcription

Ti-Ni ケイジョウ キオク ゴウキン スパッタ ハクマク オ モチイタ キョウリョク ダイヘンイ マイクロ アクチュエータ ノ サクセイ

Note

課題番号: 14205099

• NCID: BA77548800
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [つくば]
• Pages/Volumes: 1冊
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30195718